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ICP-MS因廠商、品牌的不同，其故障與排除方式略有不同，但有些故障及解決辦法卻有相似之處，以下是10個常見故障與排除要點，小編分享給大家。01靈敏度偏低a、調用的方法文件是否正確；
02標準溶液精密度差
03氧化物較高
04雙電荷離子偏高
05本底值偏高
06線性不好
07點不著火
08真空系統真空度達不到
09點火后水溫偏高
010儀器無法聯機
b、調試溶液是否正確；
c、進樣管、霧化器連接是否正常，有無漏氣、堵塞現象；
d、采樣錐、截取錐、炬管是否出現污漬，需要清洗；
e、依次對以下項目作優化調試：霧化器流量、透鏡電壓或自動離子透鏡、X-Y調節、雙檢測器優化、質量軸校準；
f、完成d項后，需要做儀器性能指標的全套優化項目，以獲得其最佳校準值。
利用思維導圖一目了然解決問題。
a、蠕動泵管連接是否正常，有無漏氣、堵塞現象；
b、霧化器的霧化效率情況，檢查霧化氣流的暢通性和均勻性；
c、炬管是否較長時間未清洗，存在污漬。
a、清潔霧室和霧化器，確保霧化氣流暢通無阻；
b、清洗采樣錐和截取錐，并觀察其孔徑有無變形，必要時更換。
a、檢查調試溶液是否被污染；
b、采樣錐和截取錐的O形圈變形，引起漏氣。
a、真空度是否較前期偏差；
b、近期是否拆卸過真空系統，排除安裝時可能存在的泄漏點；
c、考慮調節電子參數。
a、檢查空白溶液、標準溶液是否正常，排除污染；
b、重新優化雙檢測器。
a、RF電纜線連接是否正常；
b、氬氣壓力是否達到適用范圍；
c、真空度是否達到點火壓力要求；
d、炬管連接處密閉性能是否正常，檢查O形圈，避免變形和松動；
e、氬氣純度及氣路連接是否達到要求；
f、霧室廢液排出是否正常，避免堵塞；
g、檢查點火線圈的清潔度，清潔污漬。
a．點火后真空系統真空度達不到，檢查采樣錐和截取錐O形圈是否漏氣；
b．點火前真空系統真空度變差，提示真空泵需要保養。
a、冷卻循環水設備的電源未開；
b、冷卻水溫度未設置在正常值范圍；
c、冷卻循環水設備制冷效果欠佳(可能漏水)；
d、水路管道堵塞或者漏水；
e、冷卻循環水設備的濾網堵塞；
f、冷卻循環水設備故障。
a、連接電纜線是否脫落；
b、關閉等離子體、真空和儀器主機，重啟計算機。
ICP– MS 屬精密儀器， 維修及日常維護時必須嚴格遵照儀器使用規程進行。正確的使用和維護保養儀器不但能夠提高分析結果的準確性， 還能夠延長儀器的使用壽命， 減少故障率， 保障分析檢測工作的順利進行。
