露點是指空氣在水汽含量和氣壓都不改變的條件下，冷卻到飽和時的溫度。形象地說，就是空氣中的水蒸氣變為露珠時候的溫度叫露點。露點本是個溫度值，可為什么用它來表示濕度呢？這是因為，當空氣中水汽已達到飽和時，氣溫與露點相同；當水汽未達到飽和時，氣溫一定高于露點溫度。所以露點與氣溫的差值可以表示空氣中的水汽距離飽和的程度。在100%的相對濕度時，周圍環境的溫度就是露點。露點越小于周圍環境的溫度，結露的可能性就越小，也就意味著空氣越干燥，露點不受溫度影響，但受壓力影響。
1.電介法露點儀的測量原理
利用五氧化二磷等材料吸濕后分解成極性分子，從而在電極上積累電荷的特性，設計出建立在絕對含濕量單位制上的電解法微水份儀。目前國際上最高精度達到±1.0℃(露點溫度)，一般精度可達到±3℃以內。
2.電式露點儀的測量原理
采用親水性材料或憎水性材料作為介質，構成露點儀電容或電阻，在含水份的氣體流經后，介電常數或電導率發生相應變化，測出當時的電容值或電阻值，就能知道當時的氣體水份含量。建立在露點單位制上設計的該類傳感器，構成了電傳感器式露點儀。目前國際上最高精度達到±1.0℃(露點溫度)，一般精度可達到±3℃以內。
3. 鏡面式露點儀測量原理
不同水份含量的氣體在不同溫度下的鏡面上會結露。采用光電檢測技術，檢測出露層并測量結露時的溫度，直接顯示露點。鏡面露點儀制冷的方法有：半導體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。鏡面式露點儀采用的是直接測量方法，在保證檢露準確、鏡面制冷高效率和精密測量結露溫度前提下，該種露點儀可作為標準露點儀使用。目前國際上最高精度達到±0.1℃(露點溫度)，一般精度可達到±0.5℃以內。
4.晶體振蕩式露點儀的測量原理
利用晶體沾濕后振蕩頻率改變的特性，可以設計晶體振蕩式露點儀。這是一項較新的技術，目前尚處于不十分成熟的階段。國外有相關產品，但精度較差且成本很高。
5.半導體傳感器露點儀的測量原理
每個水分子都具有其自然振動頻率，當它進入半導體晶格的空隙時，就和受到充電激勵的晶格產生共振，其共振頻率與水的摩爾數成正比。水分子的共振能使半導體結放出自由電子，從而使晶格的導電率增大，阻抗減小。利用這一特性設計的半導體露點儀可測到-100℃露點的微量水份。
6.紅外露點儀 的測量原理
利用氣體中的水份對紅外光譜吸收的特性，可以設計紅外式露點儀。目前該儀器很難測到低露點，主要是紅外探測器的峰值探測率還不能達到微量水吸收的量級，還有氣體中其他成份含量對紅外光譜吸收的干擾。但這是一項很新的技術，對于環境氣體水份含量的非接觸式在線監測具有重要的意義。
隨著現代科學技術的發展，人們紛紛把光電技術、新材料技術、紅外技術、微波技術、微電子技術、光纖技術、聲波技術甚至納米技術應用到氣體中水份的測量，使水份測量這一古老領域煥發出青春。
在測量原理上，技術人員認定鏡面結露的方法是最直接且精度最高的方法。鏡面露點儀在技術上將引進近代技術成份。如我們研制的冷鏡式激光露點儀首次采用了激光準直技術和CCD技術，在露層判別、露霜圖像識別技術上走到了世界前沿。專業人員在傳統的傳感器材料研究(如氧化鋁材料、氯化鋰材料、高分子材料和陶瓷材料)基礎上，用完全不同的技術手段，陸續發展出許多間接測量氣體中微量水份的方式方法，解決了不同領域和不同環境中的微水份測量問題。